半導體硅行業(yè)制氮機設備維修廠家 |
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“半導體硅行業(yè)制氮機設備維修廠家”詳細介紹
半導體硅行業(yè)制氮機設備維修廠家半導體制氮機應用:半導體和集成電路制造過程的氣氛保護,清洗,化學品回收等。制氮機日常保養(yǎng)維修需要注意:1、空壓機要定期維護,空濾,油慮,機油要按照說明書定期叫廠家更換。2、冷干機要定時檢查冷媒壓力,做到及時補充,散熱片灰塵要每天用壓縮空氣吹掃,過濾器濾芯要定期更換,正常是8000H,要看具體情況,壓差情況。3、每日打開空氣儲罐排污口一次,排掉空氣中冷凝水。4、每日檢查自動排水器,以免堵塞而失去排水作用。若堵塞時,可稍微打開手動閥門,關閉自排閥門再拆下自動排水器,分解清洗。清洗自動排水器時,使用肥皂沫清洗即可。5、制氮機主要檢查吸附塔的工作壓力,純度,流量做好記錄。6、活性炭過濾器內(nèi)活性炭一般建議每年更換一次。7、氮分儀定期校準一次,建議半年一次。8、要檢查氣動閥和電磁閥的靈敏度,氣動閥磨損影響氮氣純度,這個屬于易損件。9、氨氣閥要每年到鍋檢所校準。以上就是制氮機常見的故障,可供參考。制氮機技術維修指標:空壓機壓力:0.6-1Mpa(可調(diào))???氮氣流量:Nm3/h氮氣純度:95%-99.9995%??????氮氣出口壓力:0.2-0.85Mpa(按客戶需要可調(diào))原料:潔凈壓縮空氣????????制氮機配件更換保養(yǎng)精密過濾器濾芯空氣過濾器濾芯:每4000小時更換一次???油氣過濾器濾芯:每8000小時更換一次油過濾器濾芯:每2000小時更換一次????潤滑油:每2000小時更換一次?????壓縮空氣過濾器C、T、A三級過濾?????每4000小時更換一次:10000/3只??????????氧分析儀探頭:每兩年更換一次?
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